Nauka innov. 2012, 8(2):23–25
https://doi.org/10.15407/scin8.02.023

Ю.В. Петров
Санкт-Петербурзький державний університет, Міждисциплінарний Ресурсний Центр за напрямом «нанотехнології», Санкт-Петербург, Росія

Скануючий іонний гелієвий мікроскоп

Розділ: Світ інновацій
Мова статті: російська
Анотація: Описано досвід використання скануючого гелієвого мікроскопа ORION (Carl Zeiss) в дослідженнях, що проводяться в Міждисциплінарному Ресурсному Центрі за напрямком «нанотехнології» (С-Петербург, Росія). Порушені питання про формування та стабільнысть гелієвого одноатомного джерела, про процеси взаємодії іонів гелію з досліджуваною речовиною; описані можливості застосування іонної гелієвої мікроскопії та літографії.
Ключові слова: скануючий іонний гелієвий мікроскоп, одноатомне джерело, просторова розподільна здатність.

Повний текст (PDF)

Література:
1. Мюллер Э.Б. Автоионизация и автоионная микроскопия . УФН. - 1962. - Т. LXXVII. - Вып. 3. - С. 481.
2. Tondare. V.N. Quest for high brightness, monochromatic noble gas ion sources . J. Vac. Sci. Technol. A. - 2005. -V. 23. - No. 6. P. 1498.
3. Notte J., Hill R., McVey S. et al. An Introduction to Helium ion microscopy . Microsc. Microanal. - 2006. -V. 12. P.126.
4. Ward B.W., Notte J.A. Economou N.P. Helium ion microscope: A new tool for nanoscale microscopy and metrology . J. Vac. Sci. Technol. B. - 2006. - V. 24, No. 6. -P. 2871.
5. Morgan J., Notte J., Hill R., Ward B. An Introduction to the helium ion microscope . Microsc. Today. - 2006. -V. 14. - No. 4. P. 24.
6. Kalbitzer S. and Zhukov V. Resolution of the Scanning Helium Microscope . Op. Appl. Phys. J. - 2008. - V.1. P. 4.
7. Ramachandra R., Griffin B., Joy D. A model of secondary electron imaging in the helium ion scanning microscope . Ultramicrosc. - 2009. - V. 109. P. 748.
8. Inai K., Ohya K. Ishitani T. Simulation study on image contrast and spatial resolution in helium ion microscope .J. Elect. Microsc. - 2007. - V. 56, No. 5. P. 163.
9. Vyvenko O.F., Petrov Yu.V. Secondary electrons energy distribution and energy selective imaging in helium ion microscope. Advancements in Helium Ion Microscopy . SPIE Defence, Security and Sensing, 25-29 April 2011, Orlando, USA, p. 277, Proceedings of SPIE, Vol. 8036 80360O-1.
10. Sidorkin V., van Veldhoven E., van der Drift E. et al. Sub 10-nm nanolithography with a scanning helium beam .J. Vac. Sci. Technol. B. - 2009. - V. 27, No. 4. P. L18.