Вакуумний пост для нанесення покриттів на внутрішню поверхню труб методом магнетронного розпилення

ЗаголовокВакуумний пост для нанесення покриттів на внутрішню поверхню труб методом магнетронного розпилення
Тип публікаціїJournal Article
Year of Publication2020
АвториКоломієць, ВМ, Шкурат, ОІ, Кравченко, СМ, Лопаткін, РЮ, Чижов, ІГ, Самойлов, ПЄ, Павленко, ЮА, Мельник, МО, Гончаренко, ОІ
Short TitleNauka innov.
DOI10.15407/scin16.04.053
Об'єм16
Проблема4
РубрикаНауково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
Pagination53-59
МоваУкраїнська
Анотація
Вступ. Внаслідок механічного та хімічного зносу внутрішніх поверхонь трубоподібних виробів існує необхідність створення захисних покриттів останніх, що збільшить ресурс їх використання в різних галузях промисловості.
Проблематика. При створенні обладнання для отримання якісних захисних покриттів внутрішньої поверхні труб виникають деякі труднощі, пов’язані з обмеженістю простору. В світовій практиці широко застосовують методи плазмового напилення з циліндричними магнетронами. Однак, актуальними залишаються питання удосконалення розпилювального обладнання для збільшення його ефективності та покращення фізико-механічних властивостей покриттів. Також нагальною потребою є виготовлення універсального обладнання для обробки трубних виробів різного діаметру.
Мета. Розробка й створення стенду з дослідним зразком магнетронної розпилювальної системи для напилення покриттів на внутрішні поверхні трубних виробів діаметром від 30мм з використанням методики магнетронного розпилення імпульсами високої потужності.
Матеріали й методи. Елементи конструкції магнетронного розпилювача виготовлено з нержавіючої сталі з параметром шорсткості Ra≤2,5. В експериментах використано метод магнетронного розпилення імпульсами високої потужності (HIPIMS — High-power impulse magnetron sputtering).
Результати. Розроблено конструкторську документацію на магнетронну розпилювальну систему та виготовлено стенд для напилення захисних покриттів на внутрішні поверхні трубних виробів діаметром від 30 мм. Використовуючи створену циліндричну магнетронну розпилювальну систему, можна здійснювати в одному технологічному циклі як іонне очищення внутрішньої поверхні труб, так і напилення нових покриттів.
Висновки. Позитивні результати з випробування дослідного зразка магнетронної розпилювальної системи показали перспективність створення промислового обладнання для вирішення актуальної проблеми отримання якісних покриттів внутрішньої поверхні труб.
Ключові словавнутрішня поверхня труб, магнетронна розпилювальна система, магнетронний розпилювач, метод HIPIMS, циліндричний магнетрон