1Возний, ВІ, 1Сторіжко, ВЮ, 1Мирошніченко, ВІ, Токмань, ВВ, Міронець, ЄА, Батура, ЄО
1Інститут прикладної фізики НАН України, Суми
Nauka innov. 2010, 6(5):72-76
https://doi.org/10.15407/scin6.05.072
Рубрика: Наукові основи інноваційної діяльності
Мова: Російська
Анотація: 
З метою підвищення роздільної здатності установок з фокусованими іонними пучками розроблено іонний інжектор польового типу. Вимірювання параметрів інжектора проводяться на високовакуумному стенді з тиском залишкових газів на рівні 5⋅10-7 Па. Іонний інжектор складається з газового польового іонного джерела голчато-капілярного типу, фокусної одиночної лінзи та компактного фільтра Віна на постійних магнітах. Конструкція польового джерела передбачає можливість охолодження вольфрамової голки до температури рідкого азоту. В даний час виміряні ВАХ іонного джерела, що працює при кімнатній температурі. Отримано польовий іонний струм (1-5) • 10-12 A при напрузі екстракції 2-5 кВ.
Ключові слова: газове польове іонне джерело, емісія, фокусований пучок іонів, яскравість
Посилання: 
1. Szymanski R., Jamieson D.N. Ion source brightness and nuclear microprobe applications // Nucl. Instrum. Meth. B. — 1997. — V130. — P. 80-85.
2. Jamieson D.N. New generation nuclear microprobe systems // 7 Intern. Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications. — France. 10 September. 2000. — MF-01. — P. 1-16.
3. Lejeune C. and Aubert J. Emittance and brightness: definitions and measurements. Advances in Electronics and Electron Physics. — part 13A. — Septier: New York, 1980. — P. 159-259.
4. Storizhko V.E., Ponomarev A.G. et al. The Sumy scanning nuclear microprobe: Design features and first tests // Nucl. Instrum. Meth. B. — 2007. — V. 260. — P. 49-54.
5. Legge G.J.F., Moloney G.R., Colman R.A. and Allan G.L. High velocity ion microprobes and their source requirements // Rev. Sci. Instrum. — 1996. — V. 67. — No. 3. — P. 909-914.
6. Bell A.E., Jousten K. and Swanson L.W. High-field ion sources // Rev. Sci. Instrum. — 1990. — V. 61. — No.1. — P. 363-365.
7. Orloff J.H. and Swanson L.W. Study of a field-ionization source for microprobe applications // J. Vac. Sci. Technol. — 1975. — V. 12. — P. 1209-1213.
8. Tondare V.N. Quest for high brightness, monochromatic noble gas ion sources // J. Vac. Sci. Technol. A. — 2005. — V. 23. — No. 6. — P. 1498-1508.
9. Edinger K., Yun V., Melngailis J., Orloff J., Magera G. Development of a high brightness gas field ion source // J. Vac. Sci. Technol. B. — 1997. — V. 15. — No. 6. — P. 2365-2368.
10. Konishi M., Takizawa M. and Tsumori T. Characteristics of a helium field ion gun // J. Vac. Sci. Technol. B. — 1988. — V. 6. — P. 498-501.
11. Salancon E., Hammadi Z., Morin R. A new approach to gas field ion sources // Ultramicroscopy. — 2003. — V. 95. — P. 183-188.
12. Mikhailovskij I.M., Wanderka N., Storizhko V. et all. A new approach for explanation of specimen rupture under high electric field // Ultramicroscopy. — 2009. — V. 109. — P. 480-485.
13. Muller E.W., Tsong T.T. Field Ion Microscopy, Principles and Applications. — Elsevier: New York, 1969. — P. 314.
14. Король Э.Н., Лобанов В.В, Назаренко В.А., Покровский В.А. Физические основы полевой масс-спектрометрии. — К.: Наук. думка, 1978. — C. 195.